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VPI SF6 가스 purification

VPI SF6 가스 purification

성장밀도를 증가시키는 황(S) 불순물의 특성과 관련이 있는 것으로 나타나며, 그 특징을 가지는 육불화황(SF 6 ) 가스 주입시간으로 기하학적으로 조절된 마이크로 또는 나노크기의 탄소코일(Carbon coils)의 제조방법에 관한 것이다.

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